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低真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气（钢水处理）等要求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组，这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气喷射泵、水环泵、罗茨泵等。使用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、干燥罐等部件。
水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合形成悬浮液，不仅会使真空度下降，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度下降。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：
（1 ）选用带有气镇装置的油封机械泵；
（2 ）装油分离器、离心式分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流入泵中使用；
（3 ）使用吸水性强的干燥剂；
（4 ）使用液氮冷阱，不仅能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挡机械泵油向高真空室返流。
油扩散泵真空系统是使用最广泛的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期使用后，常见的故障是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关，防止的办法是：
（1）定期清洗真空室；
（2）定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清洗。
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